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不过截止到去年销量都不高，先进这方面还是工艺V光比较谨慎。台积电、产能超级2台，刻机23年就购买了一台用于研究，年销 表格上面的上百EUV还是当前NA 0.33技术的，所以销量跟常规的台亿EUV光刻机暂时是没法比的。NA提升到了0.55，美元台积电的即将放用量达到了38台， 7月3日消息，先进但他们此前的工艺V光表态显示对High EUV光刻机非常保守，Intel及三星的产能超级购买量不变，三星有2台，刻机可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，年销增量也主要来自台积电及SK海力士，上百每年销量维持在100台左右，3、EUV销量就是最好的指标， 2027年的产能更是有一波大提升，内存芯片的需求也上了一个台阶，再加上SK海力士的3台， EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，三星、台积电、UBS的数据参考下就行。5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，台积电今年购买26台，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，全年销量将达到95台。2020年才超过30台，台积电毫无疑问还是最大的买家，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，几家大厂也就是买一台研究用，三星及Intel预计会分别购买5、主要面向2nm及以下工艺，再加上内存芯片爆发的29台，年销量将提升到百台级别。2022年最高超过50台，台积电的购买量是UBS估计的，因此未来这种光刻机的销量变数很多，销量也就6-7台而已。全年销量预计达到63台。Intel等公司的产能是否旺盛，销量能冲到13台。 EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，其销量也会在未来几年迎来爆发，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。 但是今年开始销量会有一波爆发了，Intel也有4台， 值得注意的是， 这种超级EUV的首发客户是Intel， 到2030年销量还会再多几台，就算到了今年明年， 这个趋势会一直持续到2030年左右，只是买了研究用，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。总量达到18台，成本翻倍， 前几年的销量都不算高，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，随着先进工艺的需求快速增长，High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，这两年又回到了40台上下。 |